串联四极杆 ICP-MS 是一种用于元素分析的串联质谱仪 (MS/MS)。ICP-MS/MS 在碰撞/反应池 (CRC) 前增加了一个额外的四极杆质量过滤器 (Q1)，因此质谱干扰问题可以通过反应池气体和氦气 (He) 碰撞模式得到解决。为了在单位 (1 u) 质量分辨率下实现高离子传输效率，ICP-MS/MS 的两个四极杆都必须在高真空条件下运行。ICP-MS/MS 尤其适用于那些采用单四极杆 ICP-MS 无法实现成功分析的高级应用
ICP-MS/MS 使用两个四极杆质量过滤器对离子进行两次过滤，Q1 位于 CRC 之前，Q2 位于 CRC 之后。双重质量过滤 (MS/MS) 能够控制 CRC 中用于解决质谱重叠干扰的反应过程。Q1 剔除目标分析物质量以外的所有离子，因此只有分析物离子和相同质量的干扰物能够进入 CRC。反应池气体将分析物离子与重叠离子分离，且不存在单四极杆 ICP-MS 中可能发生的其他元素或同位素形成新的重叠产物离子的风险。
ICP-MS/MS 适用于那些采用单四极杆 ICP-MS 无法实现理想分析的高要求应用。这些应用可能需要极低的检测限，例如，检测半导体制程化学品和高纯度材料中的超痕量污染物或检测极小的纳米颗粒。ICP-MS/MS 可以利用 MS/MS 消除同量异位素干扰、双电荷离子干扰、相邻质量数重叠干扰以及高强度的多原子干扰。这种能力使它可以分析低浓度的非常规分析物，如 Si、P、S、Cl，甚至是 F。
应用
